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- 演講或講座
- 物理研究所
- 地點
物理所1樓演講廳
- 演講人姓名
林本堅院士 (國立清華大學半導體研究學院)
- 活動狀態
確定
- 活動網址
https://www.phys.sinica.edu.tw/lecture_detail.php?id=2788&eng=T
EUV lithography
2023-11-14 14:00 - 16:00
【摘要】
EUV lithography is introduced in terms of light source, imaging, mask, resist, its potential, and challenges.
